转让或合作开发微波等离子技术项目

    1、中低温微波等离子镀膜机  可以淀积多种绝缘、隔离膜，包括二氧化硅、氮氧化硅、氮化硅及其复合膜；可以淀积非晶、多晶、微晶、纳晶硅、非晶碳化硅膜，微波功率5千瓦，温度700℃以下，有效面积Φ450毫米。

       2、高温微波等离子镀膜机   使用温度700～1300℃，可以进行金刚石膜、立方氮化硼膜、氮化碳膜等沉积。衬底加热方法可以选用射频、中频或超音频。

       3、微波金属镀膜机   可以镀高熔点金属及其化合物，例如铜、镍、钛、钨或者氮化钛、硅化铬、氮化钨等。

       4、合作实验深亚微米刻蚀槽的铜互连填充。

       5、合作开发微波低熔金属化合物淀积实验。

       6、合作研究微波等离子外延实验。

       7、合作研发微波等离子法制造微器件，如微电阻、微电容、微电感及微机械等。

    编辑部说明：“微波等离子技术项目”是青岛市老科协会员李烈英教授领导的课题组，经过多年的试验研究，研制开发的具有自主知识产权的科技成果。该成果在同领域里具有较高水平。我协会特于本网站向社会推荐。